广东微纳院中试平台：先进设备满足定制化需求
广东中科半导体微纳制造技术研究院（简称“广东微纳院”）是由佛山市、南海区两级政府共同建设，中国科学院苏州纳米所支持的广东省省属事业单位，投入12亿元建设半导体材料外延生长、芯片加工、封装测试等全链条中试平台。
其中，半导体材料外延与表征中试平台专注于第三代半导体材料外延生长技术，围绕5G移动通信与电力电子、新型显示与汽车光电子、日盲紫外探测与紫外消杀光源等应用领域对外提供公共服务。平台拥有近2000平方米的千级超净净化间，10余套材料外延生长的MOCVD设备和20余套满足各类材料/器件检测的测试设备，具备在半导体材料外延领域深耕数十年的专业团队，硬件条件达到国际先进水平。
一、服务对象
半导体芯片制造业、消费电子产品制造商、汽车电子企业、通信设备制造商、高校及科研院所。
二、服务模式
· 客制化材料外延生长
根据客户材料外延生长的要求，提供III-N族半导体的外延生长服务，包括发光二极管、激光器、功率器件等。
· 材料（器件）测试表征
具有覆盖半导体材料、晶圆、封装器件的整套测试方案，可为产业界提供专业化、个性化的检测分析服务。
· 半导体器件封装
可提供光电器件封装、晶圆切割、老化测试等服务。
· 技术咨询及委托
通过提供技术咨询、技术开发合作、技术授权、技术转让等服务解决客户关键难点技术。
· 对外开放和共享
平台内近2000平方米千级外延超净间及各种工艺、测试设备开放共享，提供专业的技术培训和服务支持，园区各项配套设施完善、资质齐全，可以实现入驻企业短周期审批、低成本投入、高效率生产。
三、工艺能力
· 氮化镓材料外延生长
平台可实现2-8英寸氮化镓基半导体材料外延生长，规划总产能约8000片/月，可应用于蓝绿光半导体激光器、Micro-LED、电力电子、射频电子等领域。
· 半导体材料（器件）测试表征
平台具备外延材料的全套测试解决方案和针对各类晶圆、封装器件的综合光电性能分析技术。
· 半导体器件封装
平台拥有70余套专用设备，具备8英寸硅晶圆及硅基氮化镓晶圆切割加工、大功率LED陶瓷封装、UV器件Molding封装、半无机/全无机封装等能力。
四、联系方式
联系电话：0757-88591813
电子邮箱：epi@sinanogd.ac.cn
办公地址：广东省佛山市南海区狮山镇桃园路
南海科技微信编辑部
来源：广东中科微纳制造技术研究院
编辑：马霭琳
审核：何锦婷、姚易、李婧潼
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